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    氣體知識

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    O2_電子工業(yè)用氣體 氧國家標準GB_T 2014604-2009

    2019-6-21 11:18:10

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    一、范圍
    本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術(shù)要求,試驗方法及包裝、標志、貯運及安全。
    本標準適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧,以及經(jīng)純化方法得到的。它們主要用于二氧化硅化學氣相淀積,用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應劑,用于等離子體蝕刻和剝離、光導纖維。
    分子式:O2
    二、技術(shù)要求
    電子工業(yè)用氣體氧的質(zhì)量應符合表1的要求
    O2
    三、試驗方法
    1、氧純度/含量
    氧純度的體積分數(shù)不低于99.98X10-2的按以下公式計算:
    W=100-(W1+W2+W3+W4+W5+W6+W7+W8+W9+W10)x10-4
    W——氧純度(體積分數(shù))/10-2
    W1——氫含量(體積分數(shù))/10-6
    W2——氬含量(體積分數(shù))/10-6
    W3——氮含量(體積分數(shù))/10-6
    W4——一氧化碳含量(體積分數(shù))/10-6
    W5——二氧化碳含量(體積分數(shù))/10-6
    W6——總烴含量(體積分數(shù))/10-6
    W7——一氧化氮含量(體積分數(shù))/10-6
    W8——一氧化亞氮含量(體積分數(shù))/10-6
    W9——氪含量(體積分數(shù))/10-6
    W10——水含量(體積分數(shù))/10-6
    四、安全要求
    1、氧的生產(chǎn)、使用以及貯運應符合GB 16912《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》(2000年) 、《壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》(1999年)等相關(guān)規(guī)定。
    2、氧是一種強氧化劑。與可燃物質(zhì)和還原性物質(zhì)發(fā)生反應,有著火和爆炸危險。
    3、液氧迅速蒸發(fā)可能引起凍傷,在極高濃度時刺激呼吸道 ,可能對中樞神經(jīng)系統(tǒng)有影響。 凍傷時,用大量水沖洗,不要脫去衣服 ,給予醫(yī)療護理 。
    4、浸飽液氧的工作服可能有嚴重的火災危險。不要在火焰或高溫表面附近或焊接時使用 。
    5、與氧接觸時,禁止明火 、禁止火花和禁止吸煙。禁止與易燃物質(zhì)接觸。禁止與還原劑接觸。 周圍環(huán)境著火時,允許 使用各種滅火劑。
    6、液氧泄漏時應保持通風并移除全部引燃源,不要用鋸末或其他可燃吸收劑吸收。切勿直接向液體上噴水 。
    7、貯存氧的地點應是陰涼場所,具備耐火條件。 氧應與可燃物質(zhì)和還原 物質(zhì)分開存放。
     
     
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